碳化硅晶體是具有高穩(wěn)定性的良好半導(dǎo)體材料，目前我國使用的碳化硅晶體材料主要依賴于進口。山東大學(xué)從本世紀初開始對碳化硅晶體材料展開科研攻關(guān)，先后承擔(dān)了國家863和973計劃相關(guān)重大科研項目，碳化硅單晶研究技術(shù)在國內(nèi)處于領(lǐng)先地位。研究人員經(jīng)過近10年的研究和2000多次晶體生長實驗，打破國外封鎖，成功研發(fā)出可靠的碳化硅晶體材料制備技術(shù)。碳化硅單晶襯底和藍寶石襯底是新一代半導(dǎo)體材料廣泛應(yīng)用于民用航空、半導(dǎo)體照明、光電子、電力輸送、寬帶通訊等技術(shù)領(lǐng)域，這一產(chǎn)業(yè)化項目的實施將大大縮短我國與世界先進國家的差距。同時，碳化硅單晶襯底還是重大節(jié)能環(huán)保材料。